9月開始，有3項新的MEMS傳感器標準開始實施，整個2023年預(yù)計有7項MEMS技術(shù)新國家標準陸續(xù)實施。

【資料圖】

隨著近年來中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，MEMS傳感器等技術(shù)標準的制定也在加快進行，MEMS標準從混亂走向秩序，領(lǐng)先者們正在建立領(lǐng)先優(yōu)勢和行業(yè)準入壁壘！

對于商業(yè)競爭，我們經(jīng)常聽到的一句話就是：一流企業(yè)做標準，二流企業(yè)做品牌，三流企業(yè)做產(chǎn)品。只有掌握了標準的制定權(quán)，才是一流企業(yè)。

下文，我們來看看9月實施的MEMS技術(shù)新國家標準有哪些？我國有哪些MEMS/傳感器標準團體？以及我國目前的MEMS&傳感器標準建設(shè)情況。

9月，這些MEMS技術(shù)新國家標準實施！今年有7項新MEMS技術(shù)標準落地！還有10項MEMS新國家標準正在起草！

據(jù)全國標準信息公共服務(wù)平臺網(wǎng)站顯示，全國微機電技術(shù)標準化技術(shù)委員會SAC/TC336（簡稱“微機電標委會”）——MEMS技術(shù)國家標準主要歸口單位，發(fā)布多項MEMS技術(shù)國家標準制定情況。

目前，我國MEMS技術(shù)國家標準正在實行/即將實施的有31項，10項標準已上升為IEC國際標準。其中3項標準自9月1日開始正式實施，分別是：

GB/T 42191-2023MEMS壓阻式壓力敏感器件性能試驗方法

GB/T 42597-2023微機電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù) 陀螺儀

GB/T 26111-2023微機電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù) 術(shù)語

▲來源：全國標準信息公共服務(wù)平臺

《GB/T 26111-2023 微機電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù) 術(shù)語》 標準主要界定了微機電系統(tǒng)器件及其生產(chǎn)工藝相關(guān)的術(shù)語和定義，適用于微機電系統(tǒng)領(lǐng)域的研究、開發(fā)、評測和應(yīng)用。

該標準文件，全部替代實施于2011年1月的舊標準GB/T 26111-2010。

▲來源：全國標準信息公共服務(wù)平臺

此外，《GB/T 42191-2023 MEMS壓阻式壓力敏感器件性能試驗方法》和《GB/T 42597-2023 微機電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù) 陀螺儀》均為新設(shè)立的標準。

《GB/T 42191-2023 MEMS壓阻式壓力敏感器件性能試驗方法》文件描述了 MEMS 壓阻式壓力敏感器件試驗條件和試驗方法，適用于 MEMS 壓阻式壓力敏感器件。

《GB/T 42597-2023 微機電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù) 陀螺儀》文件規(guī)定了陀螺儀的術(shù)語和定義、額定值、性能參數(shù)及測量方法。陀螺儀主要用于消費電子、工業(yè)和航空航天等。陀螺儀廣泛采用MEMS和半導(dǎo)體激光器技術(shù)。

另有3項MEMS標準已通過審核將在今年12月實施，分別是：

GB/T 42895-2023微機電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù) 硅基MEMS微結(jié)構(gòu)彎曲強度試驗方法

GB/T 42896-2023微機電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù) 硅基MEMS納尺度結(jié)構(gòu)沖擊試驗方法

GB/T 42897-2023微機電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù) 硅基MEMS納米厚度膜抗拉強度試驗方法

值得一提的是，還有10項MEMS新標準正在起草制定中，這些標準的制定計劃都是在2022年下達的。

全國微機電技術(shù)標準化技術(shù)委員會成立于2008年，目前包括即將實施的標準在內(nèi)，共有31項MEMS標準，可見近年來我國MEMS標準建設(shè)正在加速。

▲來源：全國標準信息公共服務(wù)平臺

我國傳感器標準化情況如何？什么是全國微機電技術(shù)標準化技術(shù)委員會？我國MEMS標準情況如何？

首先需要說明的是，目前我國并沒有一個叫“全國傳感器技術(shù)標準化技術(shù)委員會”的標準機構(gòu)，來統(tǒng)一制定各種傳感器標準。

這主要是因為傳感器作為信息科技基礎(chǔ)，是各種儀器儀表、物聯(lián)網(wǎng)、汽車、消費電子、工業(yè)、航空航天等設(shè)備的關(guān)鍵基礎(chǔ)零部件，種類繁多且領(lǐng)域跨度極大，譬如同樣是壓力傳感器，用在消費電子跟用在工業(yè)、航空領(lǐng)域，技術(shù)要求、標定等等完全不一樣，極難統(tǒng)一。

因此，傳感器標準的制定歸口到各領(lǐng)域的標準化技術(shù)委員會中，如全國汽車標準化技術(shù)委員會下面就有相關(guān)汽車傳感器技術(shù)標準的制定。目前，傳感器標準涉及到十幾個標委會和行業(yè)歸口單位，包括：SAC/TC78（半導(dǎo)體器件）、SAC/TC103（光學(xué)和光子學(xué)）、SAC/TC104（電工儀器儀表）、SAC/TC124（工業(yè)過程測量控制和自動化）、SAC/TC159（工業(yè)自動化系統(tǒng)與集成）、SAC/TC284（光輻射安全和激光設(shè)備）、SAC/TC338（測量控制和實驗室電器設(shè)備安全）、SAC/TC419（儀表功能材料）、SAC/TC526（實驗室儀器及設(shè)備）、機械工業(yè)儀器儀表元器件標準化技術(shù)委員會等等。

相比傳感器領(lǐng)域標準化情況的復(fù)雜，MEMS技術(shù)的標準化情況就相對簡單的多。

全國微機電技術(shù)標準化技術(shù)委員會SAC/TC336（簡稱“微機電標委會”）是我國第一個MEMS技術(shù)國家標準團體，也是我國MEMS技術(shù)標準的主要歸口單位，我國多家MEMS傳感器著名企業(yè)均有參與，并進行相關(guān)標準的制定工作。

微機電標委會成立于2008年，主要負責關(guān)鍵尺寸在微米量級內(nèi)的機電一體化裝置的制造加工、 設(shè)計、 集成、 可靠性評價， 及檢測等共性技術(shù)領(lǐng)域的標準化工作。

▲來源：全國標準信息公共服務(wù)平臺

微機電標委會由機械科學(xué)研究院中機生產(chǎn)力促進中心籌建，由國家標準化管理委員會進行業(yè)務(wù)指導(dǎo)，現(xiàn)任秘書長為李根梓博士。

目前孫立寧院士任微機電標委會主任委員，孫立寧院士是國家“十五”863計劃機器人技術(shù)主題專家、國家“十五”863計劃MEMS重大專項總體組組長，相關(guān)資料參看《中國MEMS專家當選俄羅斯院士！》

▲微機電技術(shù)標準體系框架，來源：《SAC/TC 336 全國微機電技術(shù)標準化技術(shù)委員會微機電技術(shù)標準體系建設(shè)工作情況》

MEMS國際標準建設(shè)方面，自二十世紀末起， 微機電系統(tǒng)標準化工作就引起了國外發(fā)達國家和地區(qū)的標準化機構(gòu)與組織的重視，并開展了大量相關(guān)標準的研究與制定工作。

國際電工委員會在二十世紀九十年代末期，明確提出制定微機電 MEMS 標準， 并設(shè)立 MEMS 工作組 （IEC/TC 47/WG 4），現(xiàn)已提升為分技術(shù)委員會 （IEC/TC 47/SC 47F）。這個分技術(shù)委員會也是國際標準化協(xié)會惟一一個微機電 MEMS 領(lǐng)域的委員會， 現(xiàn)在已經(jīng)發(fā)布和計劃制定多項 MEMS 國際標準。

此外，國際半導(dǎo)體設(shè)備與材料協(xié)會 （Semiconductor Equipment andMaterials International，SEMI），在 2001 年成立了 MEMS 標準化工作組， 并制定了四個方向：潔凈室規(guī)范、術(shù)語、材料特性及封裝與處理。

美國材料與試驗協(xié)會 （ASTM） 、日本微機械中心 （MMC）均對MEMS技術(shù)的不同領(lǐng)域提出標準化方案。

目前，我國微機電系統(tǒng)標準化工作雖然落后于發(fā)達國家和地區(qū)， 但國際微機電標準化工作也處于起步階段，我國微機電系統(tǒng)標準化同國外先進水平差距不大。

關(guān)鍵的問題是，中國的標準化團體需要積極參與國際標準的制定，從而帶領(lǐng)國內(nèi)企業(yè)參與全球化合作和競爭。

還有另一個MEMS國家標準單位？多個MEMS/傳感器標準化委員會有什么不同？

此前，2023 年 4 月 6 日，全國集成電路標準化技術(shù)委員會（以下簡稱“集成電路標委會”）成立，這是我國集成電路領(lǐng)域首個一級標準化單位，由工信部直接領(lǐng)導(dǎo)。

集成電路標委會負責專業(yè)范圍包括：集成電路設(shè)備、半導(dǎo)體集成電路、膜集成和混合膜集成電路、微波集成電路、電路模塊、集成電路芯片及知識產(chǎn)權(quán)模塊（IP核）、集成電路微電子機械系統(tǒng)（MEMS）等產(chǎn)品的設(shè)計、生產(chǎn)和應(yīng)用。

▲來源：全國標準信息公共服務(wù)平臺

可以發(fā)現(xiàn)，集成電路標委會也涵蓋了部分MEMS標準建設(shè)的任務(wù)，據(jù)此前披露的籌建信息顯示，集成電路標委會將設(shè)置4個分技術(shù)委員會，其中SC4微電子機械系統(tǒng)標準化分技術(shù)委員會圍繞MEMS系統(tǒng)設(shè)計、制造、使用等相關(guān)需求，開展標準化工作。

并且，籌建文件中，強調(diào)了集成電路標委會參與國際標準化工作的職責，將對標美國SEMI（國際半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)協(xié)會）等國際組織，重點負責IEC/TC47/SC47A、SC47D、SC47F等國際對口標準化工作。

從上文介紹我們可以知道，IEC/TC 47/SC 47F即國際電工委員會MEMS分技術(shù)委員會。

▲分標委和工作組設(shè)置結(jié)構(gòu)（來源：全國集成電路標準化技術(shù)委員會籌建申請書）

因此，微機電標委會SAC/TC336與集成電路標委會微電子機械系統(tǒng)標準化分技術(shù)委員會SAC/TC599/SC4，在MEMS標準建設(shè)上可能部分存在重疊。但TC336將主導(dǎo)主要的MEMS國家標準建設(shè)工作，而TC599/SC4則主要聚焦于集成電路領(lǐng)域的MEMS技術(shù)應(yīng)用。

在早期的集成電路標委會籌備文件中，沈陽儀表科學(xué)研究院、必創(chuàng)科技、深迪半導(dǎo)體、格科微、大立科技、瑞聲科技、歌爾股份、漢威科技等多家傳感器企業(yè)，作為MEMS單位參與集成電路標委會籌建工作，這些單位亦同樣深度參與了微機電標委會相關(guān)MEMS標準的建設(shè)工作。

多個MEMS技術(shù)標準分委會成立！中國MEMS標準正在不斷完善！

隨著近年來MEMS技術(shù)的快速發(fā)展，以及在汽車、新能源等領(lǐng)域的不斷滲透，MEMS技術(shù)在眾多領(lǐng)域發(fā)揮了重要作用并亟需標準建設(shè)。

在微機電標委會SAC/TC336下，多個分委會相繼成立：

2022年12月，微機電標委會SAC/TC336成立能源領(lǐng)域MEMS標準化研究組，聚焦能源領(lǐng)域的MEMS傳感器技術(shù)發(fā)展及應(yīng)用需求。

2023年6月，微機電標委會SAC/TC336車載MEMS標準化工作組成立，聚焦汽車領(lǐng)域MEMS標準體系的建設(shè)。

2023年8月，微機電標委會SAC/TC336籌備成立健康領(lǐng)域MEMS標準化研究組，該研究組由國家高性能醫(yī)療器械創(chuàng)新中心推動籌建，可見我們醫(yī)療器械領(lǐng)域的對MEMS技術(shù)的重視。

此外，微機電標委會SAC/TC336設(shè)立/籌備的標準化組有：

青年工作組/前沿技術(shù)研究組、MEMS器件標準化工作組、射頻MEMS標準化研究組、微尺度檢測標準化研究組、柔性電子標準化研究組、硅基MEMS工藝標準化研究組、能源領(lǐng)域MEMS技術(shù)標準化研究組、MEMS高端裝備應(yīng)用標準化研究組、MEMS制造能力評估標準化研究組、MEMS慣性器件與系統(tǒng)標準化研究組、汽車MEMS傳感器標準化研究組等。

其中，多個標準化組在近幾年相繼成立，我國MEMS標準建設(shè)速度加快！

結(jié)語

因為傳感器領(lǐng)域的特殊性，目前我國傳感器標準建設(shè)情況相對較復(fù)雜。

而MEMS國家標準主要歸口單位為全國微機電技術(shù)標準化技術(shù)委員會SAC/TC336，此外，另有新設(shè)立集成電路標委會微電子機械系統(tǒng)標準化分技術(shù)委員會SAC/TC599/SC4，主要負責集成電路領(lǐng)域MEMS國家標準建設(shè)工作。

從本文分析可以看到，近年來隨著我國MEMS產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，以及國家對智能傳感器的重視，MEMS國家標準建設(shè)速度明顯加快。

MEMS標準從混亂走向秩序，MEMS領(lǐng)先者們正在建立領(lǐng)先優(yōu)勢和行業(yè)準入壁壘，中國MEMS/傳感器企業(yè)野蠻成長的時代將會結(jié)束，MEMS/傳感器初創(chuàng)企業(yè)們要把握好這個快速成長的時代機遇！

參與制定標準，或者成為標準！

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